DRK8090 фотоэлектрлік профильші

Бұл аспап контактісіз, оптикалық фазалық ауыспалы интерферометриялық өлшеу әдісін қолданады, өлшеу кезінде дайындаманың бетіне зақым келтірмейді, әртүрлі дайындамалардың бетінің микротопографиясының үш өлшемді графикасын жылдам өлшей алады, өлшеуді талдай және есептей алады. нәтижелер.

Өнім сипаттамасы
Ерекшеліктері: Әртүрлі калибрлі блоктар мен оптикалық бөлшектердің бетінің кедір-бұдырлығын өлшеуге жарамды; сызғыш пен циферблаттың торының тереңдігі; торлы ойық конструкциясының жабынының қалыңдығы және жабын шекарасының құрылымдық морфологиясы; магниттік (оптикалық) дискінің және магниттік басының беті Құрылымды өлшеу; кремний пластинасы бетінің кедір-бұдырлығын және үлгі құрылымын өлшеу және т.б.
Құралдың өлшеу дәлдігі жоғары болғандықтан, ол байланыссыз және үш өлшемді өлшеу сипаттамаларына ие және компьютерлік бақылауды және өлшеу нәтижелерін жылдам талдауды және есептеуді қабылдайды. Бұл құрал сынақ және өлшеу зерттеу бөлімшелерінің барлық деңгейлеріне, өнеркәсіптік және тау-кен кәсіпорындарының өлшем бөлмелеріне, дәл өңдеу шеберханаларына, сондай-ақ жоғары оқу орындары мен ғылыми зерттеу мекемелеріне және т.б.
Негізгі техникалық параметрлер
Беттік микроскопиялық біркелкі емес тереңдіктің өлшеу диапазоны
Үздіксіз бетінде, екі көрші пиксел арасында 1/4 толқын ұзындығынан асатын биіктік болмаған кезде: 1000-1нм
Көршілес екі пиксел арасындағы толқын ұзындығының 1/4 бөлігінен асатын биіктік мутациясы болған кезде: 130-1нм
Өлшеудің қайталану мүмкіндігі: δRa ≤0,5нм
Объективті объективті үлкейту: 40X
Сандық апертура: Φ 65
Жұмыс қашықтығы: 0,5 мм
Құралдың көру өрісі Көрнекі: Φ0,25мм
Фотосурет: 0,13×0,13 мм
Құралды үлкейту Көрнекі: 500×
Фотосурет (компьютер экранында бақыланады) -2500×
Қабылдағышты өлшеу массиві: 1000X1000
Пиксель өлшемі: 5,2×5,2 мкм
Өлшеу уақыты сынама алу (сканерлеу) уақыты: 1S
Құралдың стандартты айна шағылыстыру қабілеті (жоғары): ~50%
Шағылысу (төмен): ~4%
Жарықтандыру көзі: қыздыру шамы 6V 5W
Жасыл кедергі сүзгі толқын ұзындығы: λ≒530нм
Жартылай ені λ≒10нм
Негізгі микроскоптың көтерілуі: 110 мм
Үстелді көтеру: 5 мм
X және Y бағыттағы қозғалыс диапазоны: ～10 мм
Жұмыс үстелінің айналу диапазоны: 360°
Жұмыс үстелінің көлбеу диапазоны: ±6°
Компьютерлік жүйе: P4, 2,8G немесе одан жоғары, 1G немесе одан көп жады бар 17 дюймдік жалпақ экранды дисплей